流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮?dú)?

• 設(shè)定點(diǎn)的響應(yīng)時(shí)間不超過(guò)1sec

• 控制精度可達(dá)實(shí)際流量的1%

• I/O(輸入&輸出)可選模擬和數(shù)字信號(hào)

• 可實(shí)現(xiàn)本地/遠(yuǎn)程設(shè)置/顯示